探針臺(tái)
Probe Stations
譜量光電 針對(duì)行業(yè)高精度應(yīng)用場(chǎng)景需求,新推出電動(dòng)款五相高精度探針座,低速無抖動(dòng),實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位,搭配我司多軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)以及運(yùn)動(dòng)手輪組合,輕松實(shí)現(xiàn)單軸運(yùn)動(dòng)或多軸聯(lián)動(dòng),單個(gè)控制器最多可連接三個(gè)電動(dòng)探針座,可實(shí)現(xiàn)九個(gè)維度的精確控制。
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探針位移行程
XYZ三維分別15mm |
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調(diào)節(jié)精度
~1μm |
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手動(dòng)升降調(diào)節(jié)
行程15mm,分辨率0.5μm |
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最大速度
10mm/s |
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漏電流精度
100fA/10pA |

PICTS 電動(dòng)探針座可以獨(dú)立的操作某一個(gè)軸,也可以多個(gè)軸組合運(yùn)動(dòng);每個(gè)軸的速度可以單獨(dú)控制;更是匹配多種自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)多軸聯(lián)動(dòng)以及多軸插補(bǔ)運(yùn)動(dòng),最多單個(gè)控制器可以連接三個(gè)探針座,實(shí)現(xiàn)9個(gè)自由度的組合電動(dòng)位移。