探針臺(tái)
Probe Stations
譜量光電 10μm調(diào)節(jié)精度通用型探針座整體采用航空鋁合金,表面噴砂氧化,具有很好的耐腐蝕能力。位移采用燕尾分離式導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),保證線性位移的穩(wěn)定性。主要用途探針與待測(cè)器件(如芯片)接觸,傳輸測(cè)試信號(hào)并收集響應(yīng)信號(hào),以評(píng)估待測(cè)器件的性能和質(zhì)量,為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)導(dǎo)通條件。根據(jù)客戶應(yīng)用電極大小和測(cè)試精度不同,還有3μm、1μm、0.7μm、0.5μm等款式供客戶選擇;廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)試、芯片器件研發(fā)與制造、光電元件測(cè)試等,如有定制化標(biāo)準(zhǔn)(行程、精度、夾具等)可聯(lián)系客戶咨詢。
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探針位移行程
XYZ13mm+180°旋轉(zhuǎn)+60°精密定向傾斜調(diào)節(jié) |
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調(diào)節(jié)精度
10μm |
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電流測(cè)量范圍
10pA/100fA~10A |
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線纜規(guī)格
同軸線纜(BNC/鱷魚(yú)夾/香蕉插頭)/三同軸線纜 |
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漏電精度
10pA/100fA |
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線纜長(zhǎng)度
1.5m |


(Keithley26系列源表實(shí)測(cè))

PLCTS 通用型10μm探針座適整體采用鋁合金材質(zhì),表面噴砂氧化,具有良好的機(jī)械性能。使用燕尾分離式導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),保證線性位移。適用于100μm以上電極使用,廣泛應(yīng)用于晶圓芯片、半導(dǎo)體材料器件等測(cè)試。