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• 結(jié)構(gòu)緊湊，功能實用，高性價比；
• 滿足1um以上電極/PAD使用;
• 漏電精度：10pA（屏蔽箱內(nèi)）
• 探針臺整體位移精度高達(dá)10μm，樣品臺四維精密調(diào)節(jié)；
• 精密燕尾傳動機(jī)構(gòu)，線性移動，無回程差設(shè)計;
• 應(yīng)用于：半導(dǎo)體、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）、超導(dǎo)、鐵電子學(xué)、材料科學(xué)以及物理和光學(xué)等領(lǐng)域；

     譜量光電 探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試探針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進(jìn)行科研實驗分析，抽查測試等用途。