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采用了平場消色差光學系統(tǒng)和落射式柯拉照明系統(tǒng)；

目鏡：采用高眼點平場目鏡PL10X/18mm；

物鏡：長工作距平場消色差金相物鏡5X、10x、20x、50x；

玻璃載物臺：102mm*102mm，移動范圍：76mmX50mm；

粗調行程：28mm，微調精度：0.002mm；

廣泛應用于各類半導體硅晶片檢測、材料科學研究、地質礦 物分析及精密工程等學科領域；

無限遠色差校正光學系統(tǒng)；

目鏡：高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm；

物鏡：長工作距平場消色差金相物鏡5X、10x、20x、50x；

平臺尺寸：175mm×145mm，移動范圍：76mm×42mm；

粗調行程28mm，微調精度0.002mm；

搖出式消色差聚光鏡N.A.0.9，可變孔徑光闌，中心可調；

光學系統(tǒng)：無限遠色差校正光學系統(tǒng)；

目鏡：高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm；

物鏡：無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡5X、10x、20x、50x；

涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能；

玻璃工作臺：反射行程158x 158mm，透射行程：100x100mm；

調焦機構：粗調行程 33mm，微調精度0.001mm；